2XZ系列旋片式真空泵自1909年蓋德發(fā)明旋片泵并取得一個(gè)企業(yè)專利，1936年又發(fā)明氣鎮(zhèn)泵，1941年取得專利開放以來，旋片真空泵可以得到社會廣泛研究應(yīng)用和不斷發(fā)展完善。60年代末，上出現(xiàn)了提高轉(zhuǎn)速，直聯(lián)的小型化趨勢。70年代初出現(xiàn)了直聯(lián)系列文化產(chǎn)品，到80年代初，又推出了一種改進(jìn)的系列進(jìn)行產(chǎn)品，有多種方式可供用戶可以選配的附件。可以進(jìn)行保護(hù)泵，或保護(hù)生態(tài)環(huán)境，泵本身結(jié)構(gòu)方面也有改進(jìn)而使可靠性提高。在泵的結(jié)構(gòu)中，為了防止停泵時(shí)油液回流，有的設(shè)有能夠自動切斷油路的止回閥，有的設(shè)有進(jìn)氣道的切斷閥，有的為了能夠開啟煤氣鎮(zhèn)運(yùn)行突然斷電切斷氣路以保持泵口處于真空狀態(tài)而設(shè)有油泵和控制結(jié)構(gòu)。